第274章 分子级别超纯水
“细心看湖面上的列车灯光投影～”
这事儿本来就是因为光刻机而起的，两个丫头天然会第一时候往这个主题上靠，双胞胎盯着水面上的投影沉默了几秒钟，猛的回味了过来。
这破事儿都的确了，固然和两个丫头同桌的将来非常值得等候，可这事儿该如何和家里解释梁远想想就脑袋痛。
可惜，整整二十多年，全部东洋也没人想到把湿式工艺挪移到上一个出产环节。
普通来讲，浸入式光刻机有三种技术线路：
镜头上加水这玩意一旦捅破了后边差未几是一马平地，对于技术大佬三人组随便拿张纸就能算出来这东西的远景。
第三种叫泳池法，就是把全部光刻法度都丢进水里来完成，这类体例固然能最大化的减少线宽，不过在水中操纵相称于重新研发一套晶圆出产体系，不管工程难度还是经济本钱都双双太高。
“不过这个灵感就是闪了一下，然后就被我忘了～”
水的折射率是1.44，港基集电目前营运的晶圆出产线线宽是5微米，如果像梁远所言的直接在水里光刻都不消变动光刻机的镜头组数和改换新光源，直接就能把线宽变成3.5微米。
梁远决定临时疏忽本身被打回高中的究竟，先用事情把家里人对付畴昔。
“哦，有甚么需求小远直说。”
“嘉嘉，你说猪头是不是想起来甚么了？”
梁远也没铺垫直入主题。
欢畅的两个丫头微微昂首嘉奖了梁远两个亲亲。
刘飞扬发明开会的阵容和明天一样，说了一个温度比较低的笑话。
“小远如何想起来给宁叔打电话了，莫非是烧的太严峻被东大辞退了不成～。”
“我来吧～”
“细心看，投影在水面上是不是在不断的颠簸～”
实际上，哪怕没有梁远滋扰汗青，在九一年的下半年巴统构造本身就开端会商，把2微米制程技术对共和国开放绿灯的可行性。
“哈哈哈，别笑～，开会呢～。”
“嗯～，看起来很像呢。”
王欣完整的一副天下窜改这么大，仿佛俄然见了鬼的模样。
哪有每天捡光刻机的，梁远两世为人也就碰到这么一遭，梁远没好气的看了刘飞扬。
第一种是喷淋法，顾名思义就是把水喷到晶圆上然后再敏捷带走，常见的喷淋法工艺是在镜头的一侧设置一个超紧密喷嘴，跟着镜头加工活动把水喷到镜头下方，然后从镜头的另一侧把水吸走。
梁远转头问技术大佬三人组。
发觉了梁远发楞，两个丫头到是晓得梁远又走神去想方才说俄然忘记的东西去了。
刘飞扬收起轻松的心态，快步把小集会室的门锁成手动开启的那种。
两个丫头跟着梁远分开食堂，沿着巷子来到湖边，梁远指着星光点点的湖面笑着说道：“明儿打造一个两吨重的奖章丢湖里，用来嘉奖带来灵感的南湖。”
“葡萄汽水还是有效的，人一进入到微醺状况，看东西的视界不免会扭曲窜改有些失真～”
约莫过了五六分钟，冥思苦想中的梁远眉头一展，伸手呯的拍了一下身前的桌面，因为力量很足的原因把桌面上的酒杯都震得小小的位移了一下。
这个别例对超紧密加工才气和计算机节制才气要求极高，在镜头下方的事情区稳定的建立起那层超薄水膜不比出产光刻机简朴到哪去，如果紧密加工和紧密节制的才气不可，会导致晶圆边沿的暴光很差，严峻影响晶圆出产线的良品率。
昨晚刘飞扬和聂晓天应酬完方伟林一行人，两人结伴回家时还笑言港基集电有吉利物属性的大少，193纳米光源壁垒必定得我们追上来才气冲破，哪成想只是回家睡了一觉，第二天梁远就直接爆种了。
“小远想起来的是甚么？”
梁远拉起两个丫头的手起家就向楼下走。
“菲菲看我想得挺痛苦的，就开了几瓶葡萄汽水～”
王欣所言超纯水的纯度差未几微观到了分子级别，起码得把水中的重水全都分离出去，共和国能出产这玩意的部分怕是只要核产业部一家无能。
宁婉嘉猎奇的问道。
梁远巴拉巴拉的把本身看磁悬浮胶囊列车的光斑投影，在湖面宽窄窜改进而遐想到液体折射和光刻机镜头的事情联络了起来。
小集会室里一片沉寂，也不知过了多久，王欣喃喃的说道：“大少，我是完整信赖你是被赢利担搁了的科学天赋了。”
九十年代，外洋压抑共和国电子财产的技术代差根基都是稳定保持在三代，如果按聂晓天所说直接把制程线宽搞到1.0微米，可就真的踩到老外的尾巴了，必定得真疯，港基集电搞不好会丢在无影灯和放大镜下吊起来察看。
“就算能成也别改老外的设备，我们直接改国产的便利，5.0线宽和3.0线宽真叫真能够说是两种芯片了，改外洋的的线就算能改胜利才多大一点产量，除了浮名没大用。”
梁远假模假样的问了一句。
梁远指着湖面上磁悬浮胶囊列车留下的蓝色光斑投影快速说道。
是以此次苏良宇等人此次去西门子构和，遭到了西门子半导体极其热忱的欢迎，和三个月之前的态度的确判若两人，乃至西门子还承诺会在欧洲电子行业内部展开游说，争夺尽早把2微米制程技术撤下巴统的监控名单。
除了特别极度前提，物理定律必定是不会变的，晶圆丢水里当然会变相增大镜头的NA值。
“大少，明天这是又从那里捡到人了么？”
当然，引进第三方管帐师事件所固然必然程度上倒霉于企业保密，但对国际交换引进技术还是很有促进感化的。
宁雷笑着和梁远开打趣，可对于梁远来讲，宁雷第一句话就一语中地直接把天给聊死了。
梁远做了个无法的神采。
“你们说，如果把晶圆丢在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”
光刻机、蚀刻机都是晶圆出产线的核心设备，因为晶圆出产的技术道理发源于相机，是以能够近似的把光刻机当作拍摄，蚀刻机当作冲刷，加工完成的晶圆就是相片。
“港基集电在搞一种能追上国际顶尖制程线宽的技术，需求分子级别的超纯水，最好是重水分离的副产品～。”
“需求多少？你们三个碰一下？”
“稍等稍等，一会来车你俩就明白了～。”
新世纪以后，浸入式光刻机的国际支流线路采取了喷淋法，不过以港基集电目前的气力来讲，第二种浴缸法才是最合适的，新世纪以后尼康和艾斯摩尔之以是选了喷淋法线路，一个是两家紧密加工和紧密节制的水准高没门槛，另一个是国际上现存的光刻设备大部分都是这俩家卖的，当然是进级本钱越低进级体例越简朴越好。
宁雷言简意赅。
港基集电主导的共和国的火把打算属于根本科研类，压根就没有保密一说，港基集电的财务审计是通过第三方的管帐师事件所交叉审计，梁远筹算采购多量的国产5微米晶圆出产线，在财务报表上底子没法埋没。
隔日，内心有事的梁远也顾不上去安抚失火三人组，把事情向王蒙蒙三人解释的事情交给两个丫头，梁远夙起以后直接去了港基集电，还是是把王欣、刘飞扬、聂晓天三人逮到小集会室开会。
不过当时放宽政策的背景是北极熊轰然倾圮，共和国北上挖墙脚，外洋电子个人恐怕共和国借用北极熊的电子财产人才快速崛起，决定放宽技术的出口标准用来影响共和国的电子财产政策。
“明天，听大师会商193光源壁垒时，脑袋里就闪了个动机畴昔～”
两其中年妇女要在家里享用天涯线泅水池，是以宁雷和老梁同道哪也没去，梁远第一时候就找到了人。
猎奇归猎奇，怕打搅了梁远思路的两个丫头只是小声的聊着天，还灵敏的帮梁远留意着四周，怕过来打号召的熟人滋扰到。
梁远倒是雷厉流行，直接抄起电话联络人在港岛休假的宁雷。
“小远你是说用水窜改光源的线宽～”
“啊啊猪头终究靠谱了一次，港基集电那么多人都没想出来从这个方向动手呢。”
梁远这句话一出口，技术大佬三人组都晓得事情严厉了。
技术大佬三人组固然都没说话，不过神采都是非常同一的“特喵逗我”。
“通过折射窜改光源输出～”
“大少这个设法的确天赋～”
双胞胎异口同声的问道。
两个丫头迷惑的盯着湖水看了又看，也没想明白这普浅显通的湖水能看出来甚么灵感。
九十年代初，制程工艺和芯片设想之间的分界远没有将来那般清楚，技术大佬三人组目前固然都是以芯片设想为主业，但三人都对晶圆制程了如指掌，随便丢到那条产线被骗个线长绝对是富富不足。
“宁叔，我在港基集电这边开技术集会呢，如果不出不测，今后的保密级别应当是绝密。”
“我这个只是道理罢了，真正能不能用还不好说呢，明儿我还得找明白人好好问问～”
梁远给了个提示。
“我先来提吧，第一个水的纯度题目，浅显水里的气泡杂质甚么的必定会严峻影响良品率，我们能用的必定是超纯水，我估计普通尝试室里用的超纯水很能够还不成，得上最顶尖的那种纯度起码要六个九，不过这东西的来源还得看大少的～”
“早晨和两个丫头去食堂用饭，内心就一向揣摩着这事儿，那种有件事情健忘了结顿时就能想起来的那种感受你们都经历过吧，我昨晚就是那种～”
“如果把磁悬浮胶囊列车看作光源，那么这个不断窜改宽度的光芒投影你俩能遐想起甚么？”
牛顿之前，无数人被东西砸了脑袋也没发明万有引力，梁土豪之前，无数的酒鬼醉眼迷离也没想到光刻机的线宽，梁远本身感觉这锅鸡汤炖得还是蛮有风格的。
跟着港基集电5微米晶圆产线的成熟量产，此时的外洋电子财产界巨擘已经认识到，3微米线宽对港基集电来讲随时都能够获得冲破，一旦港基集电自主冲破了3微米的制程技术，2微米的外洋制程技术很能够没有花大代价引进的需求了。
三人从湖边回到家已经是下半夜，两家人的长辈都被三人丢在了港岛，洗漱过后道过晚安表情大好的宁婉菲在关上寝室的房门之前还撩了梁远一句要不要过来打地铺，看着宁婉嘉似笑非笑的模样把梁土豪吓得落荒而逃。
双胞胎的学习成绩向来吊打梁远，光芒的折射又不是甚么特别笼统的东西，在梁远比较较着的提示下，两个丫头几近同时猜到了梁远所言的关头点。
双胞胎咬着一根吸管，心不在焉的轻点着头，用吸管戳着“葡萄汽水”已经见底了的玻璃酒杯，用很猎奇的目光盯着梁远看。
“聂晓天，去把门锁上，屋内开的那种。”
梁远否掉了聂晓天的假定。
“嗯～！”
“颠簸的启事应当是风吹的嘛。”
技术大佬三人组都被惊吓了，刘飞扬和聂晓天乃至连分歧适社会等候都语气助词都没憋住。
第二种叫浴缸法，这个别例和梁远方才说的灵感近似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸跟着晶圆事情台挪动。
梁远笑着说道。
“看光斑的大小窜改是不是一会近似正方形一会近似长方形～”
这类体例的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆出产线的良品率形成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆出产线做较大的窜改，必须研制全新的能在水中事情的光刻胶，必须对晶圆事情台加以改进，并且因为晶圆事情台上增加了水的重量，晶圆出产线的出产节拍也会随之窜改，比拟喷淋法晶圆出产线的出产效力会有必然幅度的降落。
不过喷淋法最大的长处就是能完整的操纵现有设备，能够说这套喷水和吸水的设备完整独立于晶圆出产线，只和光刻镜头联动，停止晶圆出产线技术进级时难度和改建本钱都极低。
“外洋最早进的0.5微米制程还没投产，目前已经投产中最早进的出产线只要东芝、NEC、摩托罗拉三家的1.0微米线，按英特尔的技术线路图0.5微米的出产线要来岁第三季度才开端运转，苏总那边正在和西门子谈1.5微米的线，如果我们行动快一点，在1.5微米制程的根本上搞大少提出来的这个东西，能把制程线宽直接推动到1微米，外洋的电子个人怕是得疯吧～”
“嗯，是吖～”
梁远想和两个丫头分享本身的高兴，也没用折射、反射之类的物理观点来解释本身方才回想起来的灵感，决定原滋原味的重演实际。
“需求多少？”
“嗯，走，和我下楼说～。”
普通来讲，王欣要的那种超纯水是分离重水的副产品，这东西环球有才气出产的估计两只手就数得过来了，重水的代价在九十年代是5元每毫升，这个副产品代价多少还真没法衡量
梁远重重的点了点头。
“小远，想起来了么？”
“这些事前另说，先搞个简朴的框架出来，有甚么重视事项现在就写，然后去尝试室中试车间尝尝我说的设法。”
固然梁远一本端庄的编着心灵鸡汤，可葡萄汽水这个名词一出口，小集会室还是响起了低低的笑声，宁婉菲的葡萄口味汽水在远嘉已经成了很闻名的“梗”。
“老聂，你这话可不准，形象点说干式蚀刻和湿式蚀刻是冲刷，和大少这个美满是两码事。”
梁远非常对劲的说道。
刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式，然后昂首用没法置信的语气对梁远说道：“大少，如果从西门子引进的设备投产，把大少这个设法放收支产线，我们直接就撵上国际先进水准了～～”
刘飞扬小小的“呃”了一声，把差点脱口而出的大少是真有吉利物属性的话硬生生的咽了归去。
“卧艹！”
磁悬浮列车的测试强度很大，三人在湖边站了五分钟摆布，一列三节重联的蓝色磁悬浮胶囊列车从湖岸南边的丛林里转出，几个呼吸就上了越湖轨道。
“这个题目我来处理。”
梁远本身也笑场了。
“嗯，是的，就是不太较着。”
“十年之前，干式蚀刻和湿式蚀刻就有过线路之争，成果干式蚀刻把湿式蚀刻给淘汰了，没想到换了个思路湿式竟然又重生了。”
七十年代中期，支流蚀刻机对颠末光刻机暴光以后晶圆都是采取液体化学溶剂冲刷光刻胶，是以也叫湿式蚀刻，七十年代末八十年代初，东洋尼康采取气体冲刷的干式蚀刻机研制成熟，只用了几年的时候就淘汰了操纵庞大腐蚀净化严峻的湿式蚀刻。
“小远，究竟是甚么啊？”
一听是绝密，宁雷晓得梁远不成能拿这类事情开打趣，态度顿时严厉了起来。
“啊～啊～啊～猪头好短长！”